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  • 由罗茨泵与前级泵构成
  • 真空速率28L/S或以上
  • 三菱触摸屏、PLC控制单元
  • INFICON或LEYBOLD真空传感器
  • 触摸屏上实时显示当前真空度
  • 真空泵自动启停及过载保护器
  • 与工件连接时自动启动计时,在设定时间内自动判断真空度是否合格
  • 预留通信接口,与线体进行数据对接

关键词: 真空设备

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